Фоторезисты

24 июня 2015
Фоторезисты

Для электронно-лучевого экспонирования применяют более простые однокомпонентные позитивные резисты на базе полимеров, способных к цепной деполимеризации, таких как полиметилметакрилат (ПММА):

Экспонирование приводит к разрыву основной цепи на фрагменты с относительно небольшим молекулярным весом, которые при проявлении вымываются в специально подобранном проявителе.
 
Фоторезисты относятся к группе очень низкочувствительных (по шкале ASA) материалов высокого разрешения.
 
К сожалению, для экспонирования требуются высокоинтенсивные источники излучения. Это требование ограничивает площадь экспонируемых участков в шаговом повторителе размерами одного кристалла 1 см2. Таким образом, производительность литографии в электронных, ионных и рентгеновских пучках сильно зависит от чувствительности (требуемой дозы) резиста. Высокая чувствительность становится основным требованием к резистам наряду с их разрешающей способностью, стойкостью к травлению и низкой дефектностью резистных пленок.
 
Искажения рисунка маски объективами проекционных систем и рассеяние света в резистных пленках затрудняют получение фотолитографическими методами структур.


Похожие записи:

Выбираем сумочку по фигуре
Выбираем сумочку по фигуре
В разделе: Мнение общества
Главное правило — чем крупнее фигура, тем большую по размеру покупайте сумку, а форму аксессуара выбирайте, ориентируясь на наши советы.
Удивительные животные губки
Удивительные животные губки
В разделе: Флора и фауна
Губки - исключительно водные животные. Они водятся как в морях, так и в пресных водоемах: реках, озерах, прудах. Однако морских губок гораздо больше, чем пресноводных.
Я не знаю, зачем нужны эти кнопки. А ты? Давай понажимаем
Марина Шулева, журналист, служба новостей
Рейтинг: 0 Голосов: 0 219 просмотров